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Ebenheit-/Positionsmessung der Wafer Greifer

Bereich

Halbleiter-Front End Prozesse

Aufgabenstellung

Distanz

Branche

Elektronik


Optischer Distanzsensor ODSL 9

  • Höhenmessung auf 0,1 mm
  • Konturvermessung bewegter Objekte
  • Stabile, verlässliche Messwerte auch unter schwierigen Bedingungen
Optischer Distanzsensor ODSL 9
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